Trong một nhà máy ở Veldhoven, gần Eindhoven (Hà Lan), cỗ máy quang khắc tia cực tím EUV (Extreme Ultraviolet) vẫn đang được lắp ráp. Đây không phải là một thiết bị thông thường: mỗi hệ thống EUV có kích thước bằng một chiếc xe bus chở học sinh, khối lượng lên tới khoảng 150 tấn với hệ thống phức tạp gồm tia laser, gương và nam châm để ghi các mạch điện siêu nhỏ lên các tấm silicon cần thiết trong sản xuất chip.
Theo Reuters, sau khi được lắp ráp tại Hà Lan, máy quang khắc tia cực tím EUV sẽ được đóng gói vào khoảng 40 container và vận chuyển bằng máy bay chở hàng Boeing 747 đến các nhà máy thuộc sở hữu của TSMC (Đài Loan, Trung Quốc), nơi sản xuất chip cho Nvidia, cũng như Samsung và SK Hynix của Hàn Quốc, Intel của Mỹ và Rapidus của Nhật Bản.
Giá của nó cũng không kém phần đáng kinh ngạc, mỗi máy EUV có giá khoảng 250 triệu USD, tùy cấu hình và thế hệ. Nhưng điều khiến cỗ máy này trở nên đặc biệt không chỉ nằm ở quy mô hay chi phí. Điều quan trọng hơn: không có nó, thế giới hiện đại sẽ không thể vận hành như ngày nay.
Đây là công nghệ cho phép sản xuất những con chip tiên tiến nhất - nền tảng cho trí tuệ nhân tạo, điện thoại thông minh, trung tâm dữ liệu, xe tự hành và cả các hệ thống quốc phòng hiện đại. Và cho đến nay, chỉ có một công ty duy nhất trên thế giới có thể sản xuất máy EUV ở quy mô thương mại là ASM Lithography (ASML) của Hà Lan.
NXE:3350 - Hệ thống EUV thế hệ thứ ba của ASML ra mắt vào năm 2015. Ảnh: ASML.
Câu hỏi đặt ra là: Vì sao một công nghệ quan trọng đến vậy lại nằm trong tay duy nhất một công ty? Để trả lời, cần bắt đầu từ bản chất của chính công nghệ này.
Trước tiên chúng ta cần hiểu, một con chip bán dẫn được tạo ra bằng cách “in” hàng chục tỷ transistor (những công tắc điện siêu nhỏ) lên một tấm wafer silicon (đĩa bán dẫn) bằng công nghệ quang khắc. Trong đó, các máy quang khắc tiên tiến như EUV sử dụng ánh sáng bước sóng cực ngắn để tạo ra các chi tiết chỉ vài nanomet, kết hợp với vật liệu siêu tinh khiết và quy trình xử lý nhiều lớp để hình thành mạch điện hoàn chỉnh, trước khi được đóng gói để đưa vào thiết bị điện tử.
Cốt lõi của EUV nằm ở khả năng sử dụng ánh sáng có bước sóng chỉ 13,5 nanomet, tương đương gần vùng tia X, để khắc lên tấm wafer silicon những vi mạch có cấu trúc nhỏ hơn 6.000 – 7.700 lần so với sợi tóc người, vốn có đường kính từ 80.000 đến 100.000 nanomet. Nói một cách đơn giản, đây là công cụ cho phép “in” hàng chục tỷ transistor – những công tắc điện siêu nhỏ – lên một diện tích chỉ vài cm 2.
Chính việc thu nhỏ transistor này là yếu tố quyết định sức mạnh của chip: càng nhiều transistor, chip càng mạnh, càng tiết kiệm điện. EUV vì vậy không chỉ là một công nghệ sản xuất, mà là nền tảng cho toàn bộ hệ sinh thái công nghệ hiện đại.
Nhưng lý do khiến EUV đặc biệt không chỉ nằm ở vai trò của nó, mà ở việc nó gần như không thể sao chép.
Trước hết là thách thức vật lý. Ánh sáng EUV không tồn tại tự nhiên trên Trái Đất, buộc các kỹ sư phải tạo ra nó bằng cách bắn laser vào các giọt thiếc nóng chảy với tần suất 50.000 lần mỗi giây, tạo thành plasma có nhiệt độ cực cao. Toàn bộ quá trình này phải diễn ra trong môi trường chân không gần như tuyệt đối, với độ chính xác ở cấp độ nguyên tử.
Tiếp đó là hệ thống quang học. Ánh sáng EUV không thể đi qua thấu kính thông thường, nên phải sử dụng gương phản xạ siêu chính xác.
Sự tiến hóa của bước sóng nguồn sáng trong công nghệ in thạch bản và các nút ứng dụng.
Nhưng yếu tố quan trọng nhất nằm ở chỗ: EUV không phải là sản phẩm của một công ty mà là dự án hợp tác châu Âu kéo dài khoảng 25 năm với sự tham gia của hàng nghìn nhân sự. Trong hệ sinh thái này, ASML (Hà Lan) chịu trách nhiệm tích hợp toàn bộ hệ thống, ZEISS (Đức) phát triển quang học siêu chính xác, TRUMPF (Đức) cung cấp laser công nghiệp công suất cao, còn Fraunhofer (Đức) tham gia phát triển lớp phủ phản xạ cho gương EUV.
“ASML là nhà cung cấp duy nhất trên thế giới về hệ thống in thạch bản EUV và hợp tác với khoảng 1.200 đối tác trong liên minh phát triển với ZEISS”, Tiến sĩ Thomas Stammler, Giám đốc Công nghệ ZEISS, đối tác của ASML tiết lộ.
Khó khăn thứ tư là chiều dài tích lũy công nghệ. ASML cho biết EUV mất hơn hai thập niên để phát triển. Riêng công ty đã đầu tư hơn 6 tỷ euro cho R&D EUV trong 17 năm mới đạt được cột mốc xuất xưởng hệ thống EUV thứ 100 vào năm 2020.
Khó khăn thứ năm là năng lực tích hợp và thâu tóm công nghệ bổ trợ thông qua mua bán sáp nhập (M&A) công ty sở hữu công nghệ. Năm 2013, ASML mua lại Cymer, công ty có trụ sở tại San Diego chuyên về công nghệ nguồn sáng quang khắc, nhằm đẩy nhanh quá trình phát triển EUV. Năm 2016, ASML tiếp tục mua Hermes Microvision, một nhà cung cấp công cụ đo lường bằng chùm tia điện tử, qua đó mở rộng năng lực kiểm tra, đo lường và tối ưu quy trình sản xuất chip. Những thương vụ này cho thấy ASML không chỉ tự nghiên cứu, mà còn liên tục tích hợp những mắt xích công nghệ then chốt để củng cố hệ sinh thái quanh máy quang khắc.
Từ đây có thể thấy, EUV không thể bị sao chép đơn giản bằng cách tháo rời một chiếc máy rồi chế tạo lại. Muốn tái tạo EUV, một đối thủ phải đồng thời làm chủ nguồn sáng plasma từ giọt thiếc, hệ quang học gương đa lớp, môi trường chân không, bàn wafer siêu chính xác, phần mềm điều khiển, cảm biến đo lường, cơ khí chính xác, vật liệu, quy trình hiệu chỉnh, dữ liệu vận hành, đội ngũ kỹ sư và mạng lưới nhà cung ứng.
Chỉ cần một mắt xích không đạt chuẩn công nghiệp, hệ thống sẽ không thể vận hành ổn định trong dây chuyền sản xuất chip hàng loạt. Đây chính là rào cản tích lũy mà ASML đã xây dựng qua nhiều thập niên.
Với Hà Lan, EUV vì thế không chỉ là một sản phẩm xuất khẩu có giá trị cao. Nó đã trở thành một tài sản chiến lược quốc gia. Trong bối cảnh cạnh tranh Mỹ - Trung về bán dẫn và AI ngày càng gay gắt, quyền tiếp cận các thiết bị quang khắc tiên tiến trở thành vấn đề an ninh công nghệ.
Theo Reuters, Hà Lan đã mở rộng kiểm soát xuất khẩu đối với một số thiết bị bán dẫn tiên tiến, trong đó các biện pháp mới từ năm 2025 bao gồm một số công nghệ đo lường và kiểm tra được sử dụng trong sản xuất chip. Trước đó, năm 2024, Hà Lan cũng siết kiểm soát với một số dòng máy DUV immersion của ASML trong bối cảnh phối hợp với các hạn chế công nghệ do Mỹ dẫn dắt.
Không phải ngẫu nhiên ASML thường được gọi là “nút thắt” của chuỗi cung ứng bán dẫn. Khi AI trở thành hạ tầng cạnh tranh mới của các cường quốc, chip tiên tiến trở thành động cơ của AI, EUV trở thành công cụ không thể thiếu để chế tạo nhiều dòng chip tiên tiến, Hà Lan thông qua ASML sở hữu một dạng quyền lực công nghệ rất đặc biệt: quyền lực của người nắm cửa vào tầng sâu nhất của sản xuất chip.
Ít ai biết rằng, trước khi trở thành mắt xích không thể thiếu của ngành bán dẫn toàn cầu, ASML khởi đầu một cách đầy chật vật trong một nhà kho dột nát bên cạnh văn phòng của Philips tại Eindhoven (Hà Lan), thậm chí có thời điểm đứng trên bờ vực phá sản.
Văn phòng đầu tiên của ASML đặt tại một nhà kho dột nát bên cạnh văn phòng của Philips ở Eindhoven, Hà Lan. Ảnh: ASML.
ASML được thành lập năm 1984 dưới dạng liên doanh giữa Philips và ASM International nhằm thương mại hóa công nghệ quang khắc của Philips. Tuy nhiên, ngay từ đầu, đây không phải là lĩnh vực được ưu tiên chiến lược, khiến công ty ra đời với nguồn lực hạn chế và gần như không có lợi thế rõ ràng trước các đối thủ Nhật Bản như Nikon và Canon – những doanh nghiệp đã thống trị thị trường thiết bị quang khắc toàn cầu.
Trong bối cảnh đó, công ty nhỏ bé đến từ Hà Lan gần như không thể có được bước tiến đáng kể. ASML có rất ít khách hàng và không đủ khả năng tự đứng vững.
Theo ASML, tình hình càng trở nên nghiêm trọng vào cuối những năm 1980, khi ngành điện tử toàn cầu rơi vào suy thoái, kéo theo việc các hãng sản xuất chip cắt giảm đầu tư thiết bị. Áp lực tài chính ngày càng gia tăng. Cổ đông ASM International không thể tiếp tục duy trì mức đầu tư cao trong khi lợi nhuận thấp và buộc phải rút lui. Đồng thời, Philips triển khai một chương trình cắt giảm chi phí quy mô lớn, khiến tương lai của liên doanh này trở nên bất định. Vào thời điểm đó, theo chính ASML mô tả, công ty đứng trước nguy cơ phá sản.
Bước ngoặt chỉ xuất hiện vào đầu những năm 1990, khi ASML giới thiệu nền tảng quang khắc PAS 5500 – một hệ thống có năng suất và độ phân giải hàng đầu ngành. Nhờ đó, công ty lần đầu tiên giành được những khách hàng quan trọng và bắt đầu tạo ra lợi nhuận, chuyển mình từ một doanh nghiệp chỉ cố gắng tồn tại sang một nhà cung cấp có vị thế.
Philips và ASM ký kết thỏa thuận liên doanh giữa. Ảnh: ASML.
Năm 1995, ASML thực hiện IPO trên cả sàn Amsterdam và New York, qua đó huy động nguồn vốn để mở rộng hoạt động nghiên cứu và sản xuất. Sau đó, Philips dần thoái vốn, giúp ASML trở thành một công ty độc lập, có khả năng chủ động trong chiến lược dài hạn.
Trong giai đoạn này, ASML tiếp tục cải tiến các công nghệ quang khắc DUV và phát triển những nền tảng mới như TWINSCAN, giúp nâng cao năng suất sản xuất và tạo dòng tiền ổn định. Chính nguồn lực này trở thành bệ đỡ tài chính để công ty theo đuổi những dự án dài hạn, bao gồm EUV.
Khi chính thức khởi động chương trình EUV vào năm 1997, ASML không còn ở bên bờ phá sản, nhưng cũng chưa phải là người dẫn đầu. Việc đầu tư vào một công nghệ chưa chứng minh được tính khả thi thương mại vì vậy mang tính một “canh bạc” rủi ro.
Khi ASML khởi động chương trình EUV năm 1997, công ty thực chất đang đặt cược vào một công nghệ chưa từng có tiền lệ công nghiệp, khi gần như toàn bộ hệ thống, từ nguồn sáng, quang học cho tới môi trường vận hành đều phải được phát triển từ con số 0.
Người được giao dẫn dắt hành trình này là Jos Benschop, một nhà khoa học vật lý người Hà Lan, sau này trở thành Phó Chủ tịch cấp cao phụ trách công nghệ của ASML. Ông không chỉ là kiến trúc sư kỹ thuật của EUV, mà còn là người kiên trì thúc đẩy công nghệ này trong suốt hơn hai thập kỷ, ngay cả khi phần lớn ngành vẫn còn hoài nghi.
Ngay sau đó, năm 1998, dưới sự dẫn dắt của Benschop, ASML thành lập liên minh R&D công nghiệp châu Âu mang tên EUCLIDES, quy tụ các đối tác như ZEISS, Oxford Instruments cùng hàng loạt viện nghiên cứu như TNO, Fraunhofer, PTB hay Philips Research. Liên minh này tiếp tục mở rộng hợp tác với EUV LLC của Mỹ từ năm 1999, hình thành một mạng lưới phát triển EUV mang tính toàn cầu ngay từ giai đoạn đầu.
Để theo đuổi EUV – một công nghệ chưa mang lại doanh thu trong suốt nhiều năm, ASML vẫn phải duy trì đầu tư mạnh vào các hệ thống DUV, đặc biệt là immersion lithography và nền tảng TWINSCAN, nhằm đảm bảo dòng tiền và vị thế thị trường.
Tuy nhiên, EUV không phải là bước nâng cấp, mà là một cuộc “tái thiết” toàn bộ công nghệ quang khắc. Ánh sáng 13,5 nm không thể tồn tại trong môi trường thông thường, buộc toàn bộ hệ thống phải vận hành trong chân không. Ngay cả vật liệu sử dụng cũng phải thay đổi hoàn toàn do hiện tượng thoát khí, khiến việc lựa chọn và xử lý vật liệu trở thành một trong những thách thức phức tạp nhất.
Sau gần một thập kỷ nghiên cứu, các nguyên mẫu EUV đầu tiên được đưa vào thử nghiệm tại các trung tâm như imec (Bỉ) và SUNY Albany (Mỹ). Đến mùa xuân năm 2008, những chip thử nghiệm EUV toàn trường đầu tiên trên thế giới đã được sản xuất, đánh dấu bước tiến quan trọng khi công nghệ bắt đầu rời khỏi phòng thí nghiệm.
Bước ngoặt tiếp theo đến vào năm 2010, ASML đã vận chuyển chiếc TWINSCAN NXE:3100 đầu tiên, một hệ thống EUV tiền sản xuất, đến một cơ sở nghiên cứu của Samsung tại Hàn Quốc. Máy đã đạt được "ánh sáng đầu tiên".
“Đó là một khoảnh khắc tuyệt vời. Giấc mơ đã trở thành hiện thực trong nhà máy của khách hàng”, Jos Benschop nhớ lại dự án ông cùng đội ngũ của mình đã bắt đầu nghiên cứu từ năm 1997.
Tuy nhiên, đây mới chỉ là bước khởi đầu. Trong gần một thập kỷ sau đó, thách thức lớn nhất không còn là “có thể làm được hay không”, mà chuyển sang một bài toán khó hơn nhiều: “có thể sản xuất đủ nhanh và đủ rẻ hay không?”.
Để giải quyết nút thắt này, ASML vừa mở rộng hợp tác, vừa triển khai chiến lược M&A nhằm kiểm soát các thành phần cốt lõi. Điển hình là thương vụ mua lại Cymer năm 2013, giúp công ty làm chủ công nghệ nguồn sáng EUV.
Cùng lúc, toàn bộ hệ sinh thái chip cũng phải tham gia vào quá trình hoàn thiện công nghệ. Các nhà sản xuất phải tối ưu từ vật liệu cản quang, mặt nạ đến phần mềm thiết kế chip (EDA), tạo thành một vòng lặp cải tiến liên tục. EUV vì vậy không chỉ là một cỗ máy, mà là một cuộc tái cấu trúc toàn bộ quy trình sản xuất bán dẫn.
Bước ngoặt mang tính quyết định xảy ra vào năm 2012, khi Intel, Samsung và TSMC đồng loạt tham gia chương trình đồng đầu tư vào ASML để thúc đẩy phát triển EUV. Đổi lại, họ nhận cổ phần trong công ty và quyền tiếp cận sớm với công nghệ. Đây không chỉ là một thương vụ tài chính, mà là một sự xác nhận chiến lược: các nhà sản xuất chip lớn nhất thế giới đã đặt cược trực tiếp vào EUV như nền tảng tương lai của ngành.
Phải đến khoảng năm 2018, khi các hãng chip bắt đầu chi hàng tỷ USD để xây dựng các nhà máy tương thích EUV, ASML mới thực sự cảm nhận được bước ngoặt. Theo Jos Benschop, đây là thời điểm công ty nhận ra chương trình EUV đã thành công: các khách hàng không còn thử nghiệm, mà đã sẵn sàng đặt cược quy mô lớn vào công nghệ này.
Năm 2019, những sản phẩm thương mại đầu tiên sử dụng chip sản xuất bằng EUV xuất hiện trên thị trường, trong đó có dòng smartphone Galaxy Note10 của Samsung. Với riêng Jos Benschop, đây là khoảnh khắc mang tính biểu tượng.
“Khoảnh khắc tuyệt vời nhất trong sự nghiệp của tôi là vào năm 2019 khi tôi phát biểu tại một hội thảo, tôi lấy điện thoại thông minh Samsung của mình ra và nói, ‘tôi đã từng ngây thơ nói rằng EUV sẽ được sản xuất hàng loạt vào năm 2006. Tôi xấu hổ thừa nhận rằng điều đó đã chậm 13 năm’, nhưng sau đó tôi vẫy điện thoại và nói, 'nhưng một số người trong các bạn lại nghĩ rằng điều này sẽ không bao giờ tồn tại'”, Jos Benschop nói.
Trong những năm tiếp theo, EUV nhanh chóng chuyển từ “đột phá” sang tiêu chuẩn. Theo ASML, tháng 12/2020, ASML xuất xưởng hệ thống EUV thứ 100, và đến cuối năm 2021, đã có 127 hệ thống được vận hành tại các nhà máy của khách hàng trên toàn cầu.
Trong khi dữ liệu của Reuters cho thấy năm 2025, ASML đã xuất xưởng 44 hệ thống như vậy và các nhà phân tích dự báo sẽ cần tăng mạnh trong năm 2026 và 2027.
Để ASML, ZEISS, TRUMPF… tạo ra cỗ máy quang khắc EUV “quyền lực” không thể không nhắc tới vai trò của chính phủ Hà Lan, Đức và Ủy ban châu Âu (EC). Những hỗ trợ từ các chính phủ tới các chương trình cấp châu Âu không xuất hiện một cách ồn ào, nhưng lại là yếu tố quyết định giúp các công ty, dự án non trẻ tồn tại qua những giai đoạn khó khăn nhất.
Trở lại châu Âu cuối những năm 1970, thời điểm đó khi ngành bán dẫn bước vào giai đoạn tăng tốc, các chính phủ Tây Âu, dưới định hướng của Ủy ban châu Âu đã bắt đầu tái định hình chính sách công nghiệp. Thay vì chỉ hỗ trợ các ngành truyền thống, họ chuyển trọng tâm sang các lĩnh vực mới nổi như vi điện tử và bán dẫn, coi đây là nền tảng cho năng lực cạnh tranh dài hạn.
Trong bối cảnh đó, Philips, tập đoàn điện tử lớn nhất châu Âu khi ấy, bắt đầu truyền tải thông điệp tới chính phủ về vai trò chiến lược của ngành bán dẫn. Những cảnh báo này đã ảnh hưởng trực tiếp tới cách nhìn nhận của Chính phủ Hà Lan, khiến công nghệ vi điện tử không còn chỉ là lĩnh vực kinh doanh, mà trở thành một trụ cột kinh tế tương lai.
Tuy nhiên, điều đáng chú ý là Hà Lan không lựa chọn con đường “nuôi một nhà vô địch quốc gia”. Sự can thiệp của nhà nước diễn ra theo hướng gián tiếp nhưng mang tính quyết định.
Theo ASML, khi dự án máy quang khắc PAS 2000 của Philips đứng trước nguy cơ bị dừng vì thiếu nguồn lực, ban lãnh đạo, đặc biệt là Wim Troost, Giám đốc phụ trách khoa học và công nghệ của Philips (S&I) lúc bấy giờ, Wim Troost đã phải tìm đến cả hội đồng quản trị lẫn chính phủ để tìm kiếm hỗ trợ. Đồng thời, các lãnh đạo bộ phận S&I liên tục di chuyển giữa The Hague (trung tâm hành chính của Chính phủ Hà Lan) và Brussels, Bỉ (nơi đặt trụ sở EC) để vận động nguồn lực từ chính phủ Hà Lan và Ủy ban châu Âu.
Vai trò của nhà nước không chỉ dừng ở hỗ trợ tài chính, mà còn thể hiện rõ ở chức năng “kết nối”. Khi Philips gặp khó khăn trong việc tìm đối tác phát triển công nghệ quang khắc, Bộ Kinh tế Hà Lan đã trực tiếp tham gia, thúc đẩy cuộc đối thoại ba bên giữa Philips, ASM International và cơ quan quản lý.
“Dưới áp lực về thời gian, tiền bạc và Bộ Kinh tế Hà Lan, Philips S&I bắt đầu tìm kiếm đối tác cho máy khắc wafer của mình. Một cuộc đối thoại ba bên đã diễn ra giữa Bộ Kinh tế Hà Lan, Philips và ASM International (ASM). Bộ Kinh tế Hà Lan đã đề xuất ASM như một giải pháp tiềm năng”, Jorijn van Duijn (cố vấn nhóm lịch sử của ASML) tiết lộ một trong những bước ngoặt lịch sử để Philips và ASM thành lập liên doanh ASML, từ đó làm nên kỳ tích với máy máy quang khắc tia cực tím EUV.
Nếu nhìn ở cấp độ kỹ thuật, EUV là hệ thống phức tạp bậc nhất từng được chế tạo. Nhưng xét ở góc độ công nghiệp, nó là kết quả của một “liên minh công nghệ” châu Âu kéo dài nhiều thập kỷ.
Dựa trên nền tảng hợp tác do ESPRIT (chương trình Chiến lược Châu Âu về Nghiên cứu Công nghệ Thông tin của Liên minh Châu Âu) tạo ra, chuỗi giá trị EUV được phân bổ giữa nhiều quốc gia. Quá trình phát triển này kéo dài hơn hai thập kỷ, với sự tham gia của hàng nghìn kỹ sư và nhà khoa học, được hậu thuẫn bởi các chương trình nghiên cứu cấp quốc gia và châu Âu.
Chính trong khuôn khổ các chương trình như ESPRIT, các doanh nghiệp châu Âu bắt đầu chuyển từ cạnh tranh riêng lẻ sang tìm kiếm giải pháp nội khối, nhằm đảm bảo tính tự chủ công nghệ. Hà Lan nhìn thấy cơ hội này và chủ động tham gia vào việc xây dựng năng lực thiết bị bán dẫn - một lĩnh vực khi đó còn rất non trẻ.
Điểm đáng chú ý là nhà nước không áp đặt một mô hình phát triển cứng nhắc. Thay vì trực tiếp điều hành hay kiểm soát dự án, họ cho phép doanh nghiệp vận hành theo logic thị trường, đồng thời tạo ra các điều kiện để liên minh công - tư hình thành. Việc cân nhắc để Bộ Kinh tế hoặc các quỹ liên quan nắm cổ phần trong liên doanh cho thấy chính phủ Hà Lan sẵn sàng tham gia, nhưng theo cách linh hoạt, không làm triệt tiêu động lực doanh nghiệp.
Từ nền tảng đó, một mô hình hợp tác rộng hơn ở cấp châu Âu dần hình thành và chính mô hình này sau đó trở thành chìa khóa cho sự ra đời của công nghệ EUV.
“Nguồn tài trợ của châu Âu đã được rót vào "liên doanh" qua IPCEI (sáng kiến tài chính đặc biệt của Liên minh Châu Âu, cho phép các quốc gia thành viên trợ cấp nhà nước cho các dự án xuyên biên giới, quy mô lớn) nhằm hỗ trợ các dự án đổi mới sáng tạo cao nhưng rủi ro lớn của các công ty lớn nhỏ trong ngành công nghiệp bán dẫn cần nhiều vốn”, Giám đốc Công nghệ ZEISS Thomas Stammler tiết lộ việc công ty của ông nhận được hỗ trợ vốn để cùng đối tác ASML nghiên cứu, phát triển thành công EUV.
Nói cách khác, EUV không chỉ là sản phẩm của một công ty. Nó là kết tinh của một chiến lược công nghiệp dài hạn, Hà Lan và các quốc gia châu Âu đã chọn hợp tác để tạo ra một công nghệ mà phần còn lại của thế giới khó có thể thay thế.
Nhìn lại hành trình hơn ba thập kỷ, EUV không phải là một bước nhảy vọt đơn lẻ, mà là kết quả của một chiến lược dài hạn hiếm có: kết hợp giữa doanh nghiệp, chính sách công và một hệ sinh thái công nghệ xuyên quốc gia.
Trong kỷ nguyên cạnh tranh công nghệ, quyền lực không còn nằm ở nơi sản xuất chip, mà ở nơi kiểm soát công nghệ tạo ra chip. Và ở điểm nghẽn quan trọng nhất của chuỗi giá trị đó, Hà Lan, quốc gia có dân số khoảng 18 triệu dân, thông qua ASML, đã vươn lên trở thành một trong những “người gác cổng” quyền lực nhất thế giới.
Cỗ máy EUV vì thế không chỉ là thành tựu kỹ thuật. Nó là lời giải cho câu hỏi lớn hơn: một quốc gia nhỏ có thể nắm giữ vị trí trung tâm của nền kinh tế toàn cầu như thế nào.
