Trung Quốc hé lộ “trái tim” của cỗ máy EUV, tiến gần hơn mục tiêu tự chủ sản xuất chip
Một công ty khởi nghiệp Trung Quốc vừa trưng bày nguyên mẫu hệ thống nguồn sáng EUV, bộ phận cốt lõi của thiết bị quang khắc tiên tiến. Dù 90% linh kiện đã được nội địa hóa, công nghệ này vẫn cần thêm 3-5 năm để hướng tới sản xuất hàng loạt, trong bối cảnh Bắc Kinh tìm cách giảm phụ thuộc vào ASML của Hà Lan.